相关文章

史珺博士:多晶硅铸锭炉的装料问题解析

导读: 多晶硅铸锭的装料是一个很关键的过程,这个过程常常被忽视。但对于多晶硅提纯和铸锭来说,这个过程有任何疏忽,都会导致铸锭失败,甚至会酿成严重的事故。

  对于一炉四锭炉来说,上料机构分为CLC2.1和CLC2.2种型号。

  CLC2.1 ,是专为上海普罗四锭铸锭炉配套的辅助设备,适用于RDS4.5、RDS4.6炉型,每次可将2个装满硅料的坩埚送入炉内,或从炉内将其取出。整套设备由料叉和车架两部分组成,配合地面钢轨及吊架,装料平台共同组成上下料系统。该上料车结构简单,使用方便。四锭炉配合该车可在8分钟内将4个坩埚的料准确放入炉内或取出。使用完毕可将车架悬臂竖起置于工作平台下。

  图2: CLC-2.1型 坩埚上下料车

  CLC-2.2型坩埚上料车,专为上海普罗四锭铸锭炉配套的辅助设备,适用于RDS4.5、RDS4.6炉型,每次可将2个装满硅料的坩埚送入炉内,或从炉内将其取出。

  图3 CLC2.2系列坩埚上下料车

  (用于上海普罗的一炉四锭的铸锭炉,可一次性存取两只坩埚)

  上海普罗并没有忘记使用单锭炉的客户。针对单锭铸锭炉,上海普罗开发了CLC1.2系列的坩埚上料车,可每次将一个装满硅料的坩埚送入炉内,或从炉内将坩埚取出。CLC1.2可装载G5或G6坩埚,装载重量最大可达1吨。

  该设备采用两组伺服油缸,由传感器识别路面感应条、PLC两轴同步控制,电动自行式,自动识别式,具有行进路线自动识别、机身灵活调头、精确定位等优势,可同时满足多台铸锭炉装卸任务。

  图4 CLC1.2 坩埚装料车(用于单锭铸锭炉)